納米壓痕又稱為深度敏感壓痕技術(shù)，它是近幾年發(fā)展起來的一種新技術(shù)，其能夠在不用分離薄膜和基底材料的情況下直接得到薄膜材料的許多力學(xué)性質(zhì)，比如彈性模量，硬度等。材料硬度的測試原理源于1881年Hertz的壓痕測定法，但是這種測定法受到所加負(fù)載大小與壓痕邊沿質(zhì)量之間矛盾的限制，對于薄膜材料的測定非常的不精確。1992年Oliver與Pharr提出了用納米量級(jí)壓痕的負(fù)荷6-6位移關(guān)系測試和分析材料的機(jī)械力學(xué)性質(zhì)，特別是薄膜材料的顯微硬度的新方法。采用這種新方法，微小壓痕的深度只要達(dá)到幾個(gè)納米，就可以從壓痕的各項(xiàng)數(shù)據(jù)中推算出材料的顯微硬度。此外，用這種方法，還可以根據(jù)壓痕過程的加載以及卸載曲線，研究材料的彈性模量。

因?yàn)?span style="color: rgb(255, 0, 0);">原子力顯微鏡AFM具有原子級(jí)的高分辨率，并且能夠連續(xù)調(diào)整放大倍率，檢測過程不會(huì)對樣品的表面造成損傷，無需高真空的檢測條件，且設(shè)備體積小，成本低，性價(jià)比高。綜合來講，跟其他的常規(guī)顯微手段相比優(yōu)勢十分明顯。

原子力顯微鏡AFM是掃描探針顯微鏡SPM的一種，具有許多優(yōu)異的性能。不僅在原子級(jí)的形貌檢測中起著關(guān)鍵性作用，而且根據(jù)AFM在測量中對力的很敏感這一特性，還能夠測量表面納米尺度范圍內(nèi)的力學(xué)性質(zhì)，比如磨損量，納米潤滑層的厚度，摩擦力以及摩擦系數(shù)等。這些都將成為原子力顯微鏡應(yīng)用的一種擴(kuò)展，將很大地推動(dòng)納米摩擦學(xué)的研究。

綜上所述，相信大家對原子力顯微鏡AFM在納米壓痕研究中的應(yīng)用也有了一定的了解，如果還有關(guān)于原子力顯微鏡的其他疑問，歡迎來電咨詢小編。