原子力顯微鏡，可用來研究材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器，它通過檢測(cè)待測(cè)樣品表面和探針之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。不同于透射電鏡和掃描電鏡只能觀察樣品的平面形貌，AFM原子力顯微鏡既可以測(cè)量樣品平面形貌，還可以測(cè)得三維形貌，高度，粗糙度，粒徑分布，材料性質(zhì)等信息，它可以獲取到相對(duì)比較多的樣品信息。在樣品的準(zhǔn)備方面上來說，不需要真空環(huán)境，大氣環(huán)境下就可以進(jìn)行操作，既可以檢測(cè)導(dǎo)體、半導(dǎo)體表面，也可以檢測(cè)絕緣體表面。所以總的來講，原子力顯微鏡就是一種測(cè)試環(huán)境兼容有極高的分辨率，然后樣品制備簡(jiǎn)單，可適用于導(dǎo)體，半導(dǎo)體，絕緣體的表面無損的測(cè)試手段。

為利用原子力顯微鏡磁力（MFM）功能模塊測(cè)試的AlCoCrFeNi高熵合金在1200℃下熱處理10小時(shí)后微觀組織磁疇分布圖。利用AFM原子力顯微鏡的形貌模式，無法得到材料的BCC和***區(qū)域，但通過MFM測(cè)試分析得出，a為相變前條狀***區(qū)域，b為相變后顆粒狀的BCC區(qū)域，c為納米級(jí)BCC基體，有效的解釋了合金發(fā)生***-BCC相變后其室溫飽和磁化強(qiáng)度提升的原因。利用原子力顯微鏡，助力于學(xué)校相關(guān)課題組發(fā)表了多篇高水平論文。