1、原子力顯微鏡高分辨力能力要遠(yuǎn)超于掃描電子顯微鏡，以及光學(xué)粗糙度儀。樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究，生產(chǎn)以及質(zhì)量檢驗(yàn)的越來越微觀化的要求。

2、非破壞性，不會(huì)對(duì)樣品造成傷害。探針跟樣品表面兩者間的相互作用力在10－8N以下，要遠(yuǎn)小于以前的觸針式粗糙度儀的壓力，所有是不會(huì)對(duì)樣品造成什么損傷的，也不會(huì)存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷的問題。除此之外，像掃描電子顯微鏡對(duì)于一些不導(dǎo)電的樣品是需要先進(jìn)行鍍膜處理的，而AFM原子力顯微鏡完全不需要，能夠直接檢測(cè)。

3、原子力顯微鏡應(yīng)用范圍非常廣泛，能夠用于對(duì)表面的觀察，尺寸的測(cè)定，表面粗糙的測(cè)定，顆粒度的解析，突起與凹坑的統(tǒng)計(jì)處理，成膜條件的評(píng)價(jià)，或者是保護(hù)層尺寸的臺(tái)階測(cè)定，層間絕緣膜的平整度評(píng)價(jià)，VCD涂層評(píng)價(jià)，以及定向薄膜的摩擦處理過程的評(píng)價(jià)和缺陷的分析等等。

4、AFM原子力顯微鏡軟件的處理功能很強(qiáng)大，其三維圖象顯示其大小，視角，顯示色，光能夠自由的設(shè)定。并且可以選擇網(wǎng)絡(luò)，等高線，線條顯示。圖象處理的宏管理，斷面的形狀與粗糙度解析，形貌解析等多種功能。