要對懸臂的彎曲量進行精確測量，除了在AFM原子力顯微鏡中使用光杠桿這個方法外，還有哪些方法可以達到相同數量級的測量精度?

對于懸臂彎曲的測量還可以采取電學方法，包括隧道電流法以及電容法。

隧道電流法根據隧道電流對電極間距離非常敏感的原理，將SIM用的針尖置于微懸臂的背面作為探測器，通過針尖與微懸臂間產生的隧道電流的變化就可以檢測由于原子間相互作用力令微懸臂產生的形變。

電容法通過測量微懸臂與一參考電極間的電容變化來檢測微懸臂產生的形變。