原子力顯微鏡，激光共聚焦顯微鏡，掃描電鏡無(wú)論是在產(chǎn)品功能上還是在產(chǎn)品性能上都相差很多，其中包括：

1、掃描驅(qū)動(dòng)方式不同：

①激光共聚焦：激光轉(zhuǎn)鏡控制激光掃描范圍和掃描速度。

②AFM原子力顯微鏡：壓電位移傳感器驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)X、Y 方向掃描。

③掃描電鏡：電磁線圈控制電子束掃描范圍和掃描速度。

2、工作環(huán)境差別：

①激光共聚焦和原子力顯微鏡可以在大氣環(huán)境中進(jìn)行測(cè)試樣品。

②一般掃描電鏡要在高真空環(huán)境下進(jìn)行測(cè)試樣品。

3、應(yīng)用范圍差別：

①激光共聚焦：幾倍-幾千倍，樣品制備簡(jiǎn)單。

②AFM原子力顯微鏡：幾萬(wàn)倍~幾千萬(wàn)倍，要求樣品非常平坦，樣品制備很難。

③掃描電鏡 ：幾倍~幾十萬(wàn)倍，樣品制備稍微復(fù)雜一些，但總體也很簡(jiǎn)單。

4、立體成像的差別：

①激光共聚焦：通過(guò)納米精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品在Z軸方向逐層成像，軟件將設(shè)定的各層圖像合成清晰立體圖像。

②原子力顯微鏡：成像的本質(zhì)就是測(cè)量表面每個(gè)像素點(diǎn)的高低，描繪出立體形貌。

③掃描電鏡：?jiǎn)螏瑘D像具有很大景深，但屬于二維圖像，通過(guò)立體對(duì)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)三維成像。