原子力顯微鏡分辨率包括側(cè)向分辨率和垂直分辨率。圖像的側(cè)向分辨率決定于兩種因素：采集圖像的步寬和針尖形狀。

1、步寬因素AFM原子力顯微鏡圖像由許多點組成，其采點的形式如圖所示．掃描器沿著齒形路線進行掃描，計算機以一定的步寬取數(shù)據(jù)點．以每幅圖像取512x 512數(shù)據(jù)點計算，掃描1μm x1μm尺寸圖像得到步寬為2nm(1μm／512)高質(zhì)量針尖可以提供1~2nm的分辨率．由此可知，在掃描樣品尺寸超過1μm x1μm時，原子力顯微鏡的側(cè)向分辨率是由采集圖像的步寬決定的。

2、針尖因素AFM原子力顯微鏡成像實際上是針尖形狀與表面形貌作用的結(jié)果，針尖的形狀是影響側(cè)向分辨率的關(guān)鍵因素。針尖影響原子力顯微鏡成像主要表現(xiàn)在兩個方面：針尖的曲率半徑和針尖側(cè)面角，曲率半徑?jīng)Q定Z高側(cè)向分辨率，而探針的側(cè)面角決定Z高表面比率特征的探測能力。曲率半徑越小，越能分辨精細結(jié)構(gòu)。