接觸模式：

優(yōu)點(diǎn)：掃描速度快，是唯Y能夠獲得“原子分辨率”圖像的原子力顯微鏡垂直方向上有明顯變化的質(zhì)硬樣品，有時(shí)更適于用接觸模式掃描成像。

缺點(diǎn)：橫向力影響圖像質(zhì)量。在空氣中，因?yàn)闃悠繁砻嫖揭簩拥拿?xì)作用，使針尖與樣品之間的粘著力很大。橫向力與粘著力的合力導(dǎo)致圖像空間分辨率降低，而且針尖刮擦樣品會(huì)損壞軟質(zhì)樣品(如生物樣品，聚合體等)。

非接觸模式：

優(yōu)點(diǎn)：沒有力作用于樣品表面。

缺點(diǎn)：由于針尖與樣品分離，橫向分辨率低;為了避免接觸吸附層而導(dǎo)致針尖膠粘，其掃描速度低于輕敲模式和接觸模式原子力顯微鏡。通常僅用于非常怕水的樣品，吸附液層B須薄，如果太厚，針尖會(huì)陷入液層，引起反饋不穩(wěn)，刮擦樣品。由于上述缺點(diǎn)，非接觸模式的使用受到限制。

輕敲模式：

優(yōu)點(diǎn)：很好的消除了橫向力的影響。降低了由吸附液層引起的力，圖像分辨率高，適于觀測(cè)軟、易碎、或膠粘性樣品，不會(huì)損傷其表面。

缺點(diǎn)：比接觸模式原子力顯微鏡的掃描速度慢。