影響原子力顯微鏡分辨率大小的因素主要包括以下幾點：

1、采集圖像的步寬：AFM原子力顯微鏡圖像由許多點組成，其采點的形式是掃描器沿著齒形路線進行掃描，計算機以一定的步寬取數(shù)據(jù)點。步寬越小，分辨率越高。

2、針尖的形狀：原子力顯微鏡成像實際上是針尖形狀與表面形貌作用的結(jié)果，針尖的形狀是影響側(cè)向分辨率的關(guān)鍵因素。針尖影響AFM原子力顯微鏡成像主要表現(xiàn)在兩個方面：針尖的曲率半徑和針尖側(cè)面角。曲率半徑越小，越能分辨精細結(jié)構(gòu)。

3、樣品表面的起伏：樣品表面起伏較大的大型掃描比非接觸式的更有效。

4、此外，色差也會影響原子力顯微鏡的分辨率，但主要發(fā)生在透鏡成像的情況下。

如需了解更多信息，建議查閱AFM原子力顯微鏡相關(guān)書籍或咨詢專業(yè)人士。