輕敲模式AFM（Atomic Force Microscopy）原子力顯微鏡是一種高分辨率的表面形貌測(cè)量技術(shù)。輕敲模式是AFM的三種基本成像模式之一，其工作原理如下：

在輕敲模式中，微懸臂在其共振頻率附近做受迫振動(dòng)，振蕩的針尖輕輕地敲擊表面，間斷地和樣品接觸。當(dāng)針尖與樣品不接觸時(shí)，微懸臂以*大振幅自由振蕩。當(dāng)針尖與樣品表面接觸時(shí)，盡管壓電陶瓷片以同樣的能量激發(fā)微懸臂振蕩，但空間阻礙作用使得微懸臂的振幅減小。反饋系統(tǒng)控制微懸臂的振幅恒定，針尖就跟隨表面的起伏上下移動(dòng)，從而獲得形貌信息。

輕敲模式的特點(diǎn)在于它類似于非接觸模式，但比非接觸模式更靠近樣品表面。這種模式的優(yōu)點(diǎn)在于它對(duì)樣品的損害可能性比接觸模式少，因?yàn)樗皇褂脗?cè)面力、摩擦或拖拽。然而，輕敲模式可能不適用于所有類型的樣品，特別是那些表面非常柔軟或易碎的樣品。

總的來說，輕敲模式AFM原子力顯微鏡是一種非常有用的工具，可以用于研究各種材料和樣品的表面形貌和物理性質(zhì)。它不僅可以提供高分辨率的圖像，還可以對(duì)樣品的力學(xué)性質(zhì)、表面粗糙度等進(jìn)行測(cè)量和分析。