原子力顯微鏡是一種用于研究固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力，來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。以下是AFM原子力顯微鏡的主要構(gòu)造部分：

機(jī)械支撐系統(tǒng)：機(jī)械支撐系統(tǒng)是原子力顯微鏡的重要組成部分，用于穩(wěn)定和保持探針與樣品之間的相對位置。這個系統(tǒng)通常包括掃描裝置和懸臂桿。掃描裝置用于水平移動樣品或探針，實(shí)現(xiàn)對樣品表面的掃描，它由X、Y、Z三個方向上的驅(qū)動器組成，可實(shí)現(xiàn)物理、電機(jī)或壓電驅(qū)動。懸臂桿則用于支撐和穩(wěn)定探針的位置，通常由彈性材料制成，如硅或硅質(zhì)材料。

探針系統(tǒng)：探針系統(tǒng)是AFM原子力顯微鏡的核心部件，用于接觸和測量樣品表面的形貌。它主要由探針組成，探針是原子力顯微鏡中與樣品直接接觸并進(jìn)行測量的部分，通常由硅制成，并在其一側(cè)附著探針**。探針**具有非常小的尺寸，在幾納米至幾十納米之間，用于檢測與樣品表面的原子間相互作用力。

控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)用于控制和測量AFM原子力顯微鏡的各種參數(shù)，以提供準(zhǔn)確的表面形貌信息。

此外，原子力顯微鏡還包括一些傳感器和其他組件，用于檢測微懸臂的形變或運(yùn)動狀態(tài)變化，并將這些變化轉(zhuǎn)換為電信號，從而得到作用力分布信息，以納米級分辨率獲得表面形貌結(jié)構(gòu)信息及表面粗糙度信息。

總的來說，AFM原子力顯微鏡的構(gòu)造精密而復(fù)雜，各部分協(xié)同工作，使得原子力顯微鏡能夠以高分辨率和靈敏度研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)。如需更多信息，可以查閱AFM原子力顯微鏡的構(gòu)造專題文獻(xiàn)或咨詢材料科學(xué)專家。